【摘要】
自紫外激光出现以来，准分子激光光器在紫外线“冷加工”应用领域占主导地位，但是，准分子技术也存在着很多缺陷：所有的准分子激光均含有有毒气体，特殊气体的更换、贮存、调节过程十分繁琐。同时，它们体积大，价格昂贵，操作和维护成本高；
自紫外激光出现以来，准分子激光光器在紫外线“冷加工”应用领域占主导地位，
但是，准分子技术也存在着很多缺陷：所有的准分子激光均含有有毒气体，特殊气体的更换、贮存、调节过程十分繁琐。
同时，它们体积大，价格昂贵，操作和维护成本高；
不但如此，准分子激光输出端还存在着方矩形大、空间质量差等问题，严重地限制了光束的聚焦，因而必须采用掩模模板。
准分子激光器对于一步钻出相同形状的孔和重复性(如加工喷墨打印机磁鼓喷嘴上的孔)有很好的工作，但一般来说效率不高，只有1%的脉冲能作用于加工表面，而其他约99%的光能在模板上流失。
另外，掩模法的灵活性有限，如果图形变化需要更换掩模板，整个加工过程必须停止。
固体紫外激光器的应用一直受到输出功率不足的限制，不能满足加工需要。
随着更可靠的半导体泵固体技术和更可靠的三倍频机制的发展，情况发生了变化。
新的三倍频半导体泵固体激光成为准分子激光的竞争对手，能量密度水平相当，但重复频率更高，光束质量更好。
良好的光束质量和卓越的聚焦能力使您能够摆脱掩模板进行加工。光束通过计算机控制的扫描振动镜系统传输到工作台的任何位置），并使用CAD/CAM软件通过直接雕刻进行钻孔、刻线或切割。
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